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案例展示 | 科迈捷流量计在半导体行业气体流量测量中的应用

更新时间:2023-04-21      点击次数:469

半导体行业组件制造是微细加工领域,生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺、电机整合及工程设计等多个步骤。因此对于生产过程中的工艺和技术有着极为严苛的要求。压缩空气系统从属于动力设备与系统,为半导体组件生产提供重要的动力能源。



高精度的流量测量和控制是半导体组件制造的关键,科迈捷流量计因具有量程范围宽、测量精度高、抗干扰能力强等多种优点,成为工业气体流量测量的理想选择。本文分享的是科迈捷流量计在半导体行业应用的案例。


案例背景

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国内一家大型半导体制造商,半导体制造过程中涉及大量的加工技术,因此对于压缩空气的用量要求十分严苛。工厂的压缩空气系统由1台离心压缩机、5台螺杆压缩机、若干台缓冲罐及干燥机和过滤器组成。该工厂通过企业成本核算发现,工厂车间每天消耗大量的压缩空气,占其总能耗的20-30%,这个消耗量**同行业用气量的平均水平。

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该工厂的工程师对过高的用气消耗展开调查和深入的系统测试后,将注意力集中到了安装在输送管网上的流量计上。输气管道暴露在工业振动环境设备中,与流量计连接的振动管道会严重干扰流量传感器,导致流量测量不准确,并且在无流量时仍然显示有流量测量。

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客户诉求
  • 精确测量空压机房主管出气量;

  • 精确测量各车间用气量;

  • 流量计长期稳定运行。


解决方案

科迈捷技术人员了解到客户的诉求之后,认为采用VFM60MV涡街流量计能**满足测量精度需求。根据现场工况,需要流量计具备高精度、抗干扰的高性能流量计,科迈捷VFM60MV具有**的双探头抗振结构结合**保护的数字信号处理技术,能够从噪声中提取有用信号准确稳定测量,在保持工况流量测量精度为±1.0%RD的情况下,测量下限达2m/s,成为工厂压缩空气流量测量的优选。

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科迈捷技术人员将VFM60MV涡街流量计分别安装于空压站内部以及车间内输送的主管道上,以此来计量空压机主管出气量以及各车间用气量。VFM60MV涡街流量计运行稳定,计量数据精准可靠,客户所关心的测量精度以及稳定性等问题**解决。


产品选用


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VFM60MV涡街流量计

  • 灵敏度*高,气体流量下限可达2m/s;

  • 量程比全面超越传统涡街,测量流速范围宽;

  • **双涡街传感器设计,优异的抗振性能;

  • 无可动部件,无压力损失;

  • 内置温度、压力传感器,可测量介质温度、压力;

  • 直接测量蒸汽质量流量,无需外接温度压力补偿;

  • 大屏幕液晶双行显示,读数清晰易辨。


客户利益

该客户于2019年底顺利采购VFM60MV涡街流量计共计35台,截至今日所有流量计运行稳定,测量效果稳定可靠,不仅为工厂提供高精度的压缩空气流量测量,为提升空气压缩机能效、降低企业成本提供精准数据支撑,同时科迈捷的远程诊断功能为客户提供了强有力的技术支持。


案例背景

该工厂在半导体组件的生产过程中,除了在压缩空气的使用中需要精确的测量,对氮气的使用也是如此。氮气具有可用性和惰性,它是半导体制造过程的各工艺中使用的核心气体,高纯氮气能够对半导体组件进行气氛保护与清洗,保证半导体与集成电路的质量,不仅能够提高生产效率,还有效提升了产品质量。

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由于氮气在半导体组件的整个生产过程中被大量使用,大多数半导体设备都在现场保留一台制氮机。因此,在努力满足高需求的同时,保持低成本也是工厂运营过程中的重要一环。


测量要求
  • 精确测量各制氮机的产气量;

  • 精确测量各车间用气量。


解决方案

通过了解客户需求和对现场工况的掌握,科迈捷技术人员提出最为合理的解决方案,并选择符合工厂需求的*优产品——TGF460热式气体质量。科迈捷技术人员将使用TGF460热式气体质量流量计安装于制氮机后管道上,在提供精准测量数据的同时,数据通过物联网上传至客户控制室电脑,客户可随时查看实时数据和历史数据,方便、直观、精准。


产品选用

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TGF460热式气体质量流量计

  • 插入式设计,探杆直径∅11,无需借助外界工具实现在线安装;

  • 带蓝牙传输功能,可通过手机APP操作;

  • 带Modbus通讯,可读取电量表数据;

  • 通过无线网络将数据上传至物联网,实现远程监控;

  • 量程比大,测量流速范围宽;

  • 无可动部件,无压力损失;

  • 测量气体质量流量,无需温度、压力补偿;

  • 全隔离的电气结构**滤除外部干扰。


客户利益

TGF460流量计测量精度为±(1.5%RD+0.5%FS),量程比最小为10:1,最高可达100:1,**满足在不稳定情况下压缩空气计量要求,精准的测量数据为企业实现高效的成本管控提供提供可靠依据。

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